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上海睿励是一家集成电路工艺检测设备供应商,从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制,为用户提供光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、缺陷检测、等离子体灰化等产品,广泛用于科学仪器、微电子等领域,目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。中微公司拟对上海睿励投资1375万元。
公司全称:睿励科学仪器(上海)有限公司成立时间:2019.08